Aplicación del sensor de corriente en la máquina de recubrimiento al vacío

Introducción del sensor de corriente Hangzhi HIT

Hangzhi HIT series current sensor is a product based on the principle of fluxgate, which is specially designed to replace the Hall current sensor in large quantities. Compared with closed-loop Hall current sensors, HIT series sensors perform better in performance. Its accuracy can reach 0.05%, much higher than the 0.2% of the closed-loop Hall effect current sensor. In addition, the bandwidth of the HIT series sensor can reach 100kHz, which is 2 times higher than that of the closed-loop Hall current sensor. At the same time, the HIT series sensor realizes a miniaturized design, and the interface and volume are the same as the Hall current sensor, which is convenient for direct replacement. The product models of this series are: HIT50, HIT100, HIT200, HIT300, HIT500, HIT600, which can measure DC, AC and pulse current from 50A to 600A.

Antecedentes de I + D para la MÁQUINA DE RECUBRIMIENTO AL VACÍO

Como equipo clave, la máquina de recubrimiento al vacío se utiliza para el recubrimiento de película delgada en un entorno de vacío. Tiene una amplia gama de aplicaciones en recubrimientos ópticos, recubrimientos metálicos y otros campos. El monitoreo y control precisos de la corriente es clave para lograr películas delgadas de alta calidad. Los sensores de corriente tradicionales tienen problemas como una gran desviación de temperatura y baja precisión en un entorno de vacío, lo que restringe el rendimiento y la estabilidad del proceso de las máquinas de revestimiento al vacío.

Puntos débiles del uso del método Tradición

The application of the current sensor on the vacuum coating machine is mainly used to monitor and control the current. In the vacuum coating machine, due to the large temperature change in the high vacuum environment, the sensor may be affected by the temperature, resulting in a deviation in the output current value. If the temperature drift of the current sensor is large, the current control of the system will be inaccurate, thereby affecting the deposition rate and thickness uniformity of the film. If the accuracy of the current sensor is low, that is, there is a large deviation between the output current value and the real value, the system will not be able to accurately control the deposition rate and film thickness. Especially for some applications that require high film quality, such as optical coating, a current sensor with low accuracy may cause the optical properties of the film to be unstable or not meet the specification requirements. In the traditional way, the Hall current sensor is commonly used to detect the current value. However, the traditional Hall current sensor has problems such as large temperature difference and insufficient precision, which restrict the performance and stability of the vacuum coating machine.

Solución de sensor de corriente sustituto de efecto Hall Hangzhi HIT

Para resolver estos problemas, Hangzhi propuso una solución de sensor de corriente basada en el principio de la tecnología fluxgate. Las características de alta precisión y baja deriva cero cumplen completamente con los requisitos de aplicación de las máquinas de revestimiento al vacío.

Al medir y controlar con precisión la corriente, el sensor de corriente de alta precisión permite un control más preciso de la velocidad de deposición y el espesor, mejorando así la uniformidad y la estabilidad de la calidad de la película. En aplicaciones como recubrimientos ópticos que requieren una película de alta calidad, los sensores de corriente de alta precisión pueden ayudar a lograr un mayor rendimiento óptico y una superficie plana.

La medición y el control precisos de la corriente ayudan a optimizar los parámetros del proceso y mejoran la eficiencia de producción de las máquinas de revestimiento al vacío. Al ajustar la corriente, se pueden lograr tasas de deposición más rápidas o un menor consumo de energía, lo que aumenta la utilización y el rendimiento del equipo.

La estabilidad del sensor de corriente de alta precisión es mejor, lo que puede reducir la deriva y la fluctuación de la medición de corriente y mejorar la estabilidad del proceso. El control de corriente estable ayuda a reducir la fluctuación y la falta de uniformidad de la película, lo que mejora la consistencia y la repetibilidad del producto.

La aplicación del sensor de corriente Hangzhi en la máquina de revestimiento al vacío puede resolver eficazmente los puntos débiles de las soluciones tradicionales, mejorar la calidad de la película y la estabilidad del proceso, mejorar la eficiencia de producción y la consistencia del producto, y brindar mayores ventajas y potencial de aplicación a la máquina de revestimiento al vacío.

Especificaciones de los transductores de corriente Hangzhi HIT

Alta precisión: 0.05%

Rango de medicion: 10 a 1000A,
Rango de escala completa: La precisión 1%-100% de un solo producto es consistente
Pequeña deriva de temperatura: buena consistencia, influencia de la temperatura, 0.1PPM/grado
Linealidad: hasta 50 ppm
Ancho de banda amplio: (hasta 100kHz @±3dB)
Tiempo de respuesta: 1μs
Rango de temperatura de funcionamiento: -40..+85 °C
Estabilidad (0,2 ppm/mes)
CA y CC universales: puede medir CA, CC, corriente de pulso
Inteligente: protección de sobrecarga de inicio de carga, autorecuperación

Acerca de Hangzhi

Shenzhen Hangzhi Precision Electronics Co., Ltd. es una empresa líder en tecnología dedicada a I+D, producción, ventas y personalización de soluciones de sensores de corriente de alta precisión, sensores de voltaje e instrumentos de medición eléctrica de alta precisión. Nos esforzamos por construir una marca reconocida de sensores de corriente de precisión e instrumentos de medición eléctrica de precisión en el campo de CC, y nos esforzamos por convertirnos en una empresa líder internacional en electrónica de precisión en el campo de los sistemas de CC.

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